Научный журнал
Научное обозрение. Физико-математические науки

ВЛИЯНИЕ СПОСОБА ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ЛЕГИРОВАНИЯ НА СВОЙСТВА ПЛЁНОК ОКСИДОВ ВАНАДИЯ

Березина О.Я, Зломанов В.П, Кириенко Д.А, Пергамент А.Л, Татевосян С.С, Яковлева Д.С
Описаны методики получения пленок оксидов ванадия, включая VO2, тремя различными способами: расплавным, алкоксидным и ацетилацетонатным золь-гель методами. Пленки исследовались при помощи рентгенофазового анализа, сканирующей электронной микроскопии, четырехзондового метода измерения температурных зависимостей удельного сопротивления. Проведено сравнение состава, структуры и свойств полученных пленок; описано влияние легирования на их свойства. Показано, что в пленках, полученных расплавным методом, кристаллиты имеют значительный разброс по размерам, а легирование вольфрамом увеличивает неоднородность поверхности. Пленки, полученные алкоксидным и ацетилацетонатным золь-гель методами, имеют однородную структуру, причем легирование хромом уменьшает размер зерен. Однако фазовый переход металл-изолятор в VO2 наиболее четко выражен (скачок сопротивления при температуре перехода максимален) у пленок, полученных расплавным методом. Параметры перехода существенно зависят от времени восстановительного отжига и концентрации легирующей добавки.

Библиографическая ссылка

Березина О.Я, Зломанов В.П, Кириенко Д.А, Пергамент А.Л, Татевосян С.С, Яковлева Д.С ВЛИЯНИЕ СПОСОБА ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ЛЕГИРОВАНИЯ НА СВОЙСТВА ПЛЁНОК ОКСИДОВ ВАНАДИЯ // Научное обозрение. Физико-математические науки . 2020. № 1. С. 21-22;
URL: https://physics-mathematics.ru/ru/article/view?id=15 (дата обращения: 24.06.2026).