Научный журнал
Научное обозрение. Физико-математические науки

СИНТЕЗ МНОГОСЛОЙНОГО ГРАФЕНА МЕТОДОМ ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ НА МЕДИ

Костогруд И.А, Замчий А.О, Баранов Е.А, Калюжный Н.А, Смовж Д.В
Проведены эксперименты по синтезу графена методом химического осаждения из газовой фазы, при атмосферном давлении на медных подложках. В роли газа прекурсора использовался метан, в качестве подложек использовалась медная фольга толщиной 30 мкм. Эксперименты проведены при различных температурах (970–1010 °С), составах газовой смеси (Ar/He+H2+CH4), временах экспозиции (5–30 мин), скоростях охлаждения образцов. Анализ синтезированных пленок проведен методом спектроскопии комбинационного рассеяния (КР). Обнаружено, что параметры охлаждения существенно влияют на полученные пленки. Показано, что при синтезе с низкой концентрацией метана (~ 1 %) получаются наименее дефектные графеновые пленки. В экспериментах получены образцы многослойного графена, наименьшее количество слоев (2–5) достигается при температуре реактора 1000 °С, газовой смеси (Ar:H2:CH4=100:3:10 н.см3/мин), времени экспозиции 30 минут и быстром остывании в этой же газовой смеси. Наилучшее качество (отношение D/G линий) достигается при температуре реактора 980 °С, газовой смеси (Ar/Н2/CH4 = 100/5/1 н. см3/мин), времени экспозиции 30 минут и быстрой закалке.

Библиографическая ссылка

Костогруд И.А, Замчий А.О, Баранов Е.А, Калюжный Н.А, Смовж Д.В СИНТЕЗ МНОГОСЛОЙНОГО ГРАФЕНА МЕТОДОМ ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ НА МЕДИ // Научное обозрение. Физико-математические науки . 2020. № 1. С. 54-55;
URL: https://physics-mathematics.ru/ru/article/view?id=76 (дата обращения: 24.06.2026).